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在德國，Jena地區(qū)以生產(chǎn)蔡司光學(xué)產(chǎn)品而舉世聞名。位于該地區(qū)的Jenaer（耶拿爾）公司生產(chǎn)的ZLM700/800雙頻激光干涉儀在世界范圍內(nèi)的同類產(chǎn)品中，由于具有獨特的性能優(yōu)勢和簡單的操作方法而久負(fù)盛名。
ZLM系列雙頻激光干涉儀采用模塊化設(shè)計和可調(diào)型ASIC元件，用戶可以根據(jù)測量目的的不同，選擇不同的反射鏡和輔助元件，以完成各種測量和控制任務(wù)。
ZLM700雙頻激光干涉儀主要用于單軸系統(tǒng)的校準(zhǔn)和測量，ZLM800干涉儀可從單軸拓展為多軸，廣泛應(yīng)用于高速動態(tài)加工工藝中的機械定位和系統(tǒng)控制。它能夠完全計算出機械設(shè)備的運行軌跡，并通過WINDOWS™軟件按用戶設(shè)定的方法對其進行分析。
配用高性能蔡司光學(xué)鏡頭組件，ZLM70/800雙頻激光干涉儀可以完成以下各種測量工作：
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- 位置測量、機械定位
- 距離測量
- 速度測量
- 加速度測量
- 角度測量（俯仰角、偏擺角、滾動角）
- 振動度測量（同心度測量）
- 直線度測量
- 矩形測量（垂直度測量、平行度測量）
- 平面度測量
- 對工具和儀器進行校正
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工作原理
專利型ZLM700/800激光干涉儀使用氦氖激光器，采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻精度為0.002ppm，640MHz的頻差經(jīng)四倍后用于信號處理。這種高頻處理信號能夠?qū)Ω咚傥矬w進行測量，不會出現(xiàn)干擾誤差，信號延時時間極短。
采用光纖電纜，把來自干涉鏡的信號傳輸?shù)接嬎銠C卡槽連接的電子計數(shù)器上，避免了外部電磁環(huán)境對測量信號的干擾。因此，ZLM700/800雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標(biāo)準(zhǔn)化實驗室和高真空環(huán)境。
除了計算機卡槽接口外，還可以使用其他獨立的電子裝置進行數(shù)據(jù)處理，包括各種接口，用于數(shù)據(jù)輸出和連接成為一個控制環(huán)路。ZLM800型干涉儀可以拓展為六軸測量。
主要特點
- 被測物體最大速度16m/s；
- 無干擾誤差時的分辨率2.5nm（使用平面干涉鏡時的誤差為1.25nm）；
- 無加速度限制；
- 當(dāng)光線微弱時，性能也十分穩(wěn)定；
- 信號延時<200ns；
- 激光器壽命內(nèi)，頻率信號穩(wěn)定；
- 對電磁干擾不敏感；
- 使用超級蔡司光學(xué)元件。
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產(chǎn)品的可靠性
世界范圍內(nèi)，ISO9000/9004已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于各種質(zhì)量保**體系。這就要求認(rèn)**的企業(yè)必須按照相關(guān)要求對生產(chǎn)工藝和控制過程進行嚴(yán)格的管理。Jenaer公司就是采用這樣質(zhì)量管理體系的公司。
測量結(jié)果的可靠與否取決于測量的工具、測量方法和操作者。測量系統(tǒng)的校正誤差會極大影響測量的結(jié)果的準(zhǔn)確性。
本公司的雙頻激光干涉儀可以通過軟件來減小測量系統(tǒng)的校正誤差。把兩個四象限傳感器置于激光器內(nèi)，一個用于測量光束，另一個用作參考光束，從而保**了以最優(yōu)的方式來校正干涉系統(tǒng)與被測物體。由于使用大屏幕顯示，系統(tǒng)校正會非常靈敏，從而方便校正。
使用軟件校正的優(yōu)點
- 通過屏幕顯示來校正系統(tǒng)的精度，能夠節(jié)約設(shè)定時間；
- 激光器的校正是一個精細的過程，即使對最復(fù)雜的測量任務(wù)也能勝任；
- 能過保**校正結(jié)果的最高性能。
測量方法智能化
ZLM700/800的信號處理電路采用可調(diào)的ASIC元件。ZLM系列雙頻激光干涉儀針對不同的測量目的，采用不同的控制信號，以完成各種測量工作。
ZLM700/800雙頻激光干涉儀可以連接外部計數(shù)系統(tǒng)，它使得被測設(shè)備和激光干涉儀之間的比較變得更為方便，節(jié)約過程時間。這一過程使用實時耦合信號，使得數(shù)據(jù)分析能夠滿足德國和世界標(biāo)準(zhǔn)。
數(shù)據(jù)分析處理的國際標(biāo)準(zhǔn)
VDI / DGQ 3441
DIN / ISO 230
VDI / VDE 2617
NMTBA
使用環(huán)境補償使精度更高
即使是標(biāo)準(zhǔn)配置，ZLM700/800雙頻激光干涉儀的分辨率也能夠達到5nm，測量精度優(yōu)于1 µm/m。這就需要使用AUK500自動環(huán)境補償器（俗語：氣象站）來提供環(huán)境溫度的一些參數(shù)，通過參數(shù)補償，使其環(huán)境指標(biāo)達到實驗室測量的標(biāo)準(zhǔn)。
ZLM700/800雙頻激光干涉儀使得測長機和比較器的校正變得更為簡單。
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空氣環(huán)境對測量結(jié)果的影響可以通過使用AUK500環(huán)境自動補償器來修正，也可以手工輸入來修正。最多可連接五個材料溫度傳感器對所測物體的溫度進行補償。 |
通過軟件使操作更為簡單
ZLM700/800雙頻激光干涉儀使用WINDOWS™數(shù)據(jù)分析軟件，長度測量結(jié)果極為準(zhǔn)確，對測量數(shù)據(jù)的分析也特別方便。用戶只需要登錄測量的數(shù)據(jù)庫，就可以輕松查詢各種數(shù)據(jù)表和圖示。無論是檢測位置、角度或者是直線度，由卡爾蔡司設(shè)計的專用軟件都可輕松集成于各種微軟WINDOWS™操作系統(tǒng)中。測量、分析、記錄收集、數(shù)據(jù)歸檔都可輕松的完成，大大節(jié)約了工作時間。
對測量結(jié)果的處理是一項重要的工作，通過集成式記錄編輯器，對圖表、數(shù)據(jù)表和用戶添加的內(nèi)容都可輕松的編輯和打印。所有記錄的內(nèi)容都可導(dǎo)出為Word文檔。
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在準(zhǔn)備和測量階段，最重要的信息屏幕上會凸出顯示。僅需要通過鼠標(biāo)或幾個按鍵，就可快速現(xiàn)實各種功能。 |
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要對測量的數(shù)據(jù)進行計算和分析，通過簡單操作就可生成各種圖解和表格。即使是微小的細節(jié)也能夠顯示出來。 |
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所測數(shù)據(jù)可以在存檔卡中進行存檔。通過存檔卡標(biāo)簽，用戶可以輕松的對某些測量結(jié)果從大量的文檔中進行查找。 |
產(chǎn)品的性能優(yōu)勢
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測量
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記錄打印
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工藝標(biāo)定
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工藝優(yōu)化 |
校準(zhǔn)、定位、調(diào)整
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控制
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技術(shù)參數(shù)
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使用標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)處理器AE700 |
使用高性能數(shù)據(jù)出來器AE950 |
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He-Ne激光平均波長： |
632.8 nm |
632.8 nm |
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激光穩(wěn)頻精度： |
一小時2x10-9（±0.002ppm）
壽命內(nèi)2x10-8（±0.02ppm） |
一小時2x10-9（±0.002ppm）
壽命內(nèi)2x10-8（±0.02ppm） |
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系統(tǒng)精度（0-40℃時）： |
±0.4ppm |
±0.4ppm |
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光束直徑： |
6mm (可選3.2mm) |
6mm (可選3.2mm) |
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激光管突發(fā)最大輸出功率： |
1mW (激光等級2) |
1mW (激光等級2) |
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每束光可測量的軸數(shù)： |
1，可選最多6個 |
1，可選最多6個 |
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線性測量距離： |
40m，可擴展為120m |
40m，可擴展為120m |
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角度測量范圍： |
± 15°，20m行程 |
± 15°，20m行程 |
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平面度測量范圍： |
20m行程 |
20m行程 |
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直線度測量范圍： |
± 5mm，2m或10m行程，
選用角度干涉儀可測30m行程 |
± 5mm，2m或10m行程，
選用角度干涉儀可測30m行程 |
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垂直度測量范圍： |
± 5mm，2m或10m行程，
30m行程需用角度干涉儀 |
± 5mm，2m或10m行程，
30m行程需用角度干涉儀 |
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最大速度： |
4m/s，可選16m/s
320rad/s 角速度 |
1m/s，平移量
80rad/s，角速度 |
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最大加速： |
無限制 |
無限制 |
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最高采樣頻率： |
內(nèi)部1MHz，外部40MHz |
內(nèi)部1MHz，外部40MHz |
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預(yù)熱時間： |
12分鐘 |
12分鐘 |
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精度/非線性： |
±1.25nm (角隅反射鏡)
±0.62nm (平面反射鏡) |
±0.3nm (角隅反射鏡)
±0.1nm (平面反射鏡) |
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距離測量分辨率： |
2.5nm (角隅反射鏡)
1.25nm (平面反射鏡) |
0.6nm (角隅反射鏡)
0.3nm (平面反射鏡)
0.1nm 可選 |
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距離測量精度：
(20°± 0.5°) 使用AUK時
(20°± 0.5°) 真空中時 |
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) |
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) |
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線性度測量分辨率： |
2.5nm (角隅反射鏡)
1.25nm (平面反射鏡)
0.62nm 可選 |
0.6nm (角隅反射鏡)
0.3nm (平面反射鏡)
0.1nm 可選 |
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線性度測量精度：
(20°± 0.5°) 使用AUK時
(20°± 0.5°) 真空中時 |
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m |
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m |
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速度測量精度： |
±0.5ppm實測值 |
±0.5ppm實測值 |
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角度測量分辨率： |
0.062μrad (12x10-3 弧秒) |
0.015μrad (3x10-3 弧秒) |
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角度測量精度： |
±0.1ppm實測值 |
±0.1ppm實測值 |
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平面度測量分辨率： |
0.062μrad (12x10-3 弧秒) |
0.015μrad (3x10-3 弧秒) |
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平面度測量精度： |
±0.2%實測值
±0.05弧度/米運行距離 |
±0.2%實測值
±0.05 弧度/米運行距離 |
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直線度測量分辨率： |
145nm，10m行程
29nm，2m行程 |
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程 |
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直線度測量精度： |
±0.5%實測值，2m行程
± 2.5%實測值，10m行程 |
±0.5%實測值，2m行程
± 2.5%實測值，10m行程 |
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垂直度測量分辨率： |
145nm，10m行程
29nm，2m行程 |
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程 |
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垂直度測量精度： |
±0.5%實測值2m，± 0.5弧秒*
±2.5%實測值10m，± 0.5弧秒* |
±0.5%實測值2m，± 0.5弧秒*
±2.5%實測值10m，± 0.5弧秒* |
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數(shù)據(jù)接口： |
積分信號
32 Bit (實時時間)
Dt »20 ns |
積分信號
32 Bit (實時時間)
Dt »20 ns |
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數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)： |
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA |
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA |
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工作環(huán)境： |
溫度：15°C-30°C
濕度： <90%無冷凝 |
溫度：15°C-30°C
濕度：<90%無冷凝 |
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儲存環(huán)境： |
溫度：10°C-40°C
濕度：<95%無冷凝 |
溫度：10°C-40°C
濕度：<95%無冷凝 | 有關(guān)該產(chǎn)品的詳細說明書，可到www.beidinghan.com網(wǎng)站上下載，中文說明書可來電 | 
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