項(xiàng)目 M2030V 型 M2030A

1 流量規(guī)格（N2） 10sccm ～ 30slpm

 (可以根據(jù)客戶要求在10sccm到30slpm中任意一段量程進(jìn)行標(biāo)定）

2 準(zhǔn)確度 ±1% F.S （Full Scale）

3 重復(fù)精度 ±0.25 % F.S （Full Scale）

4 響應(yīng)時(shí)間 ≤3sec ( 特別要求：:≤1sec )

5 耐壓 95 bar

6 工作環(huán)境溫度 5 ℃ ~ 65 ℃

7 輸入輸出信號(hào) 0 ~ 5Vdc  or  4 ~ 20mA

8 電源 ±15Vdc, 350mA

9 外形尺寸

總長(zhǎng)：依進(jìn)氣口、出氣口接頭規(guī)格而定

寬：36mm 高：138mm

M2100V 和M2100A 型氣體質(zhì)量流量計(jì)（MFM）性能指標(biāo)

項(xiàng)目 M2100V 型 M2100A

1 流量規(guī)格（N2）25slpm ～ 30slpm

(可以根據(jù)客戶要求在25slpm ～ 30slpm中任意一段量程進(jìn)行標(biāo)定）

2 準(zhǔn)確度 ±1% F.S （Full Scale）

3 重復(fù)精度 ±0.25 % F.S （Full Scale）

4 響應(yīng)時(shí)間 ≤3sec ( 特別要求：:≤1sec )

5 耐壓 95 bar

6 工作環(huán)境溫度 5 ℃ ~ 65 ℃

7 輸入輸出信號(hào) 0 ~ 5Vdc  or  4 ~ 20mA

8 電源 ±15Vdc, 350mA 

1 結(jié)構(gòu)

氣體質(zhì)量流量計(jì)由流量傳感器( Sensor )，分流器通道和流量放大電路等部件組成；在氣體質(zhì)量流量計(jì)的基礎(chǔ)上，再加上調(diào)節(jié)閥門(mén)和PID 控制電路就構(gòu)成了氣體質(zhì)量流量控制器。M 系列氣體質(zhì)量流量控制器.

M2030氣體質(zhì)量流量計(jì)與M3030型氣體質(zhì)量流量控制器相比，在結(jié)構(gòu)上它們的不同點(diǎn)是，M2030氣體質(zhì)量流量計(jì)少了電磁調(diào)節(jié)閥（Solenoid Valve），其它部分基本相同。 

2 工作原理

流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理氣體的質(zhì)量流量（無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償）。將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大，放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門(mén)，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使用之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與之配套的FM-30VE 系列Readout Box上設(shè)置有穩(wěn)定電源，3位半數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開(kāi)關(guān)等。相控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。   

控制器輸出的流量栓檢測(cè)電壓與流過(guò)通道的質(zhì)量成正比，滿量程（F.S）流量檢測(cè)輸出電為＋5V。氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是（2~100）％F.S ( 程比為50:1 )，流量分辨率是0.1％ F.S。

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范寅燁 13917099687