沈陽(yáng)市渾南新區(qū)獲悉，由沈陽(yáng)市政府與渾南新區(qū)共同組織申報(bào)的“沈陽(yáng)集成電路(IC)裝備產(chǎn)業(yè)化基地”項(xiàng)目，被科技部正式批準(zhǔn)為“沈陽(yáng)國(guó)家集成電路裝備高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化基地”。這是目前科技部認(rèn)定的國(guó)內(nèi)唯一一個(gè)國(guó)家集成電路裝備產(chǎn)業(yè)化基地。

    沈陽(yáng)集成電路裝備產(chǎn)業(yè)始建于2002年，累計(jì)投入資金4億多元。經(jīng)過(guò)多年的建設(shè)，集成電路裝備生產(chǎn)企業(yè)已從最初的兩家發(fā)展到現(xiàn)在的37家，其中，骨干企業(yè)達(dá)到11家，申報(bào)專(zhuān)利近100項(xiàng)。基地主導(dǎo)產(chǎn)品已在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體加工、醫(yī)療器械、太陽(yáng)能電池等行業(yè)得到廣泛應(yīng)用。

    目前，沈陽(yáng)集成電路裝備產(chǎn)業(yè)基地建有集成電路裝備檢測(cè)、精密零部件加工和潔凈技術(shù)平臺(tái)，擁有目前國(guó)內(nèi)唯一的集成電路裝備孵化器，正在孵化的企業(yè)已達(dá)30余家。