磁傳感器是傳感器的一個(gè)重要組成部分,廣泛地應(yīng)用在許多領(lǐng)域中。其中,在汽車(chē)領(lǐng)域占據(jù)70%以上份額。另一個(gè)大的應(yīng)用是消費(fèi)類(lèi)產(chǎn)品,如手機(jī)、電子玩具、電子羅盤(pán)等等。此外,在工業(yè)智能控制和自動(dòng)化等領(lǐng)域也都有磁傳感器存在的身影,需求也不可限量。
從當(dāng)前物聯(lián)網(wǎng)和智能電網(wǎng)兩大熱點(diǎn)工程來(lái)看,傳感技術(shù)在其中非常重要,但目前的磁傳感器的技術(shù)指標(biāo)還無(wú)法完全滿足要求,需要突破的技術(shù)主要有以下幾個(gè)方面。1.結(jié)構(gòu)尺寸大;2.分辨率低,有些原理的磁傳感器理論上說(shuō)可以到0.1納特,但是達(dá)不到,同時(shí)頻響不是很好,測(cè)量頻率只有1k左右;3.低磁場(chǎng)測(cè)量難,有些原理的磁傳感器不能測(cè)量低磁場(chǎng),要測(cè)量大于一萬(wàn)納特以上,同時(shí)它是總量的測(cè)量,不能測(cè)量矢量;4.集成度差,與其他芯片的兼容性較差,實(shí)現(xiàn)數(shù)字化難度大。除此之外,還有穩(wěn)定性、可靠性等等指標(biāo)也需要提高。
磁傳感器的方向是微型化、芯片化、集成化、低功耗化。現(xiàn)在GMI是非常時(shí)髦的一個(gè)產(chǎn)品,日本的NEC公司和阿爾卑斯公司已經(jīng)生產(chǎn)出芯片化的產(chǎn)品,尺寸小到0.35mm薄型,采用的是雙極COMS工藝制造。國(guó)外的廠家發(fā)展思路是把尺寸做到極限,然后再根據(jù)需要放大,滿足各種領(lǐng)域的需求。國(guó)內(nèi)一些大學(xué)和研究所在做這些產(chǎn)品的研發(fā),但是成型的產(chǎn)品還沒(méi)出來(lái)。
國(guó)內(nèi)的磁傳感器和國(guó)外相比存在精度不高、體積大、種類(lèi)單一的問(wèn)題。高精度的磁傳感器幾乎都是國(guó)外的。我國(guó)的傳感器產(chǎn)業(yè)要做好,一是政府要加大科研投入,重點(diǎn)扶持一些規(guī)模大的好企業(yè),通過(guò)產(chǎn)學(xué)研結(jié)合把高端產(chǎn)品搞上去,關(guān)鍵從工藝上入手。二是集中各家優(yōu)勢(shì),協(xié)調(diào)發(fā)展,讓各企業(yè)做自己的優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品。三是培育國(guó)產(chǎn)化市場(chǎng),使國(guó)產(chǎn)產(chǎn)品以質(zhì)量和信譽(yù)占領(lǐng)市場(chǎng),趕超先進(jìn)國(guó)家產(chǎn)品水平。 |