晶圓代工大廠臺積電(TSMC)宣布已可針對90納米、80納米及65納米等先進制程,提供多層綜合光罩(Multi-layerMask,MLM)服務(wù)。臺積電表示,此新推出的先進制程MLM服務(wù),加上既有的晶圓共乘服務(wù)(CyberShuttle)及全光罩投產(chǎn)(normalproductiontape-out),可提供客戶在進行產(chǎn)品試制時最大的彈性。該MLM服務(wù)特別適合用于產(chǎn)品試制或小量生產(chǎn),可為客戶帶來更高的效益。
臺積電的先進制程MLM服務(wù),是將多個等級相同光罩層上的電路圖案放在同一個光罩板上,能夠減少光罩的數(shù)量,降低光罩總成本。該公司也特別開發(fā)了一套晶圓廠內(nèi)部自動化信息系統(tǒng),管理光罩的處理以及芯片制造的生產(chǎn)流程,使得不論是采用這一先進制程MLM服務(wù)或是全光罩投產(chǎn)的客戶產(chǎn)品,其制程驗證及質(zhì)量驗證標(biāo)準(zhǔn)都完全相同。
臺積電策略暨服務(wù)營銷處陳承康資深處長表示,該先進制程MLM服務(wù)能夠?qū)⑺膶硬煌庹终现镣黄庹职迳希诔杀鞠鄬τ谛艿目紤]上,得到一個理想的比例。由于節(jié)省了光罩費用,因此客戶能夠以較低的一次性工程費用(NRE)采用先進制程生產(chǎn)產(chǎn)品。
此一先進制程MLM服務(wù)特別強調(diào)彈性,因此客戶也可以依其需要隨時進行產(chǎn)品試制或小量生產(chǎn),或者為更進一步的產(chǎn)品研發(fā)或量產(chǎn)做好準(zhǔn)備。截至2007年第四季,臺積電已成功完成超過20個先進制程MLM服務(wù),為客戶以90納米、80納米及65納米等先進制程試制或生產(chǎn)多種不同應(yīng)用的產(chǎn)品。