歐姆龍?jiān)谖挥谧藤R縣野洲市的子公司歐姆龍半導(dǎo)體內(nèi)建造了用于制造MEMS部件的200mm生產(chǎn)線,進(jìn)行自主產(chǎn)品的開發(fā)及量產(chǎn)。計(jì)劃2008年4月開始量產(chǎn)MEMS麥克風(fēng)，之后陸續(xù)開始生產(chǎn)RFMEMS開關(guān)及壓力傳感器等需求有望擴(kuò)大的MEMS元器件。預(yù)定2008年度內(nèi)使生產(chǎn)規(guī)模達(dá)到約1000枚/月。

    此前該公司一直利用125mm生產(chǎn)線來生產(chǎn)MEMS部件。為了滿足不斷增加的需求以及增強(qiáng)價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)力，該公司認(rèn)為必須擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模、降低制造成本，因此加大了晶圓的直徑。目前已經(jīng)導(dǎo)入蝕刻裝置及成膜裝置等用于形成三維結(jié)構(gòu)體的設(shè)備。順便說一句，歐姆龍半導(dǎo)體此前曾在日本國(guó)內(nèi)利用200mm晶圓量產(chǎn)過半導(dǎo)體元器件。今后將開發(fā)生產(chǎn)類似集成有MEMS和電子電路的芯片那樣的、只生產(chǎn)半導(dǎo)體元器件或只生產(chǎn)MEMS元器件的廠商所無法生產(chǎn)的產(chǎn)品。